【摘 要】
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铁电薄膜有着非常广泛的应用,利用铁电薄膜的自发极化取向随外场的方向而发生的变化以及在外场撤去之后的极化保持特性能,可应用于非挥发存储领域,如铁电非挥发薄膜随机存储器件。首先本文讨论了溶胶凝胶制备钛锆酸铅(PZT)薄膜的工艺,对工艺步骤做出了优化处理,快捷简便地制出高质量的铁电薄膜材料。对制作的PZT薄膜进行了电滞回线、极化保持性能,疲劳等电学性能的测试。通过实验,得出了电畴翻转电流的变化趋势,其中
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铁电薄膜有着非常广泛的应用,利用铁电薄膜的自发极化取向随外场的方向而发生的变化以及在外场撤去之后的极化保持特性能,可应用于非挥发存储领域,如铁电非挥发薄膜随机存储器件。首先本文讨论了溶胶凝胶制备钛锆酸铅(PZT)薄膜的工艺,对工艺步骤做出了优化处理,快捷简便地制出高质量的铁电薄膜材料。对制作的PZT薄膜进行了电滞回线、极化保持性能,疲劳等电学性能的测试。通过实验,得出了电畴翻转电流的变化趋势,其中PZT膜的电畴的翻转时间可长达0.2-0.3ms。利用ALD技术在Pt/SiO2
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