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外差激光干涉测量系统在机械工业中有着广泛的应用.现代机械工业的发展使得机床、三坐标测量机等的运行速度已提高至1m/s,为适应这种发展趋势,该文研究了高频差(5MHz)激光干涉仪的光源、稳频和外差信号的处理等基本问题,建立了测量速度可达1m/s的高测速激光干涉仪,并对其在加工中心主轴热漂移测量系统和加工中心误差实时测量系统中的应用进行了研究.