聚合物微器件因具有加工成型方便及制造成本低等特点,目前被广泛应用在微光学、生化微流控、微能源等领域。常用的微器件加工方法主要有微注塑成型技术和微热压技术。微注塑成型技术被认为是适合批量加工聚合物微器件的制造方法。应用注塑法制作的微注塑芯片产生了翘曲变形,影响了芯片的键合。本文选取平板件作为研究对象,关注于平板件上的结构对塑件翘曲变形的影响,对影响塑件翘曲变形的因素进行了总结,主要对微沟槽结构平板件的翘曲变形问题做了研究。本文的工作包括：(1)设计并制造了用于微注塑成型的模具,包括对模具的浇注系统设计、热水道设计、真空系统设计、顶出系统设计等。(2)利用Moldflow注塑仿真软件对微沟槽结构的平板件及光滑平板件的翘曲变形进行了分析,对影响注塑件翘曲变形的工艺参数进行了优化。仿真结果表明,微沟槽结构平板件的最小翘曲量为0.043mm,光滑平板件的最小翘曲量为0.114mm。分析了微沟槽结构影响塑件翘曲变形的原因,指出了分布在平板件上的微沟槽结构影响了平板件冷却的差异,从而影响了翘曲量。(3)论文建立了针对于平板件的翘曲测量方法,制备了微沟槽平板件及光滑平板件,并利用工具显微镜对两种塑件的翘曲变形进行了测量。测量结果表明,微沟槽平板件比光滑平板件的翘曲量要小0.046mm。同时对测量结果进行了误差分析,计算出了测量方法的不确定度为0.0049mm。因此,在注塑平板件时,可以设计微沟槽结构来减小平板件的翘曲量。