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由于YBa_2CH_3O_(7-x)(YBCO)高温超导薄膜具备优异的电学性能,用其制作的高温超导微波无源器件具有体积小、重量轻、损耗低、噪声小、低色散等优点,因此其在微电子应用领域有很好的市场前景。然而,这些微电子器件的集成化和产业化对大面积薄膜材料的制备提出了迫切的要求,因此制备性能良好的大面积YBCO薄膜成为高温超导薄膜的研究重点。溶胶-凝胶法具备成本低廉,工艺简单,可以在任意尺寸和形状的衬底上成膜等特点,是一种制备大面积YBCO薄膜极具潜力的方法。本文采用以丙烯酸作为铜离子络合剂的