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双电层电容是一种新型的储能元件,具有良好的应用前景。在双电层电容器中,电极是一个相当重要的部分,电极的性能直接影响到电容器的工作电压和容量,因此要求电极具有高的比面积,高的稳定性,高的工作电压和低的等效串联内阻。由于掺杂金刚石膜电极在水和非水介质中有很宽的势窗和很好的电化学稳定性,虽未经处理的多晶金刚石膜电极具有较低的电容,但经过氧化刻蚀处理后却可以大大地提高它的电容量,因此金刚石膜电极成为双电层电容电极的理想选择。本论文利用金刚石CVD装置,通过选择合适的工艺,沉积出符合条