基于磁流变弹性体的精密仪器厂房隔减振控制研究

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随着社会的发展和科技的不断进步,人们对精密仪器、设备的需求越来越多,尤其是光学工业、感光化学、航空航天和半导体工业,已经步入精密、超精密时代。众所周知,振动对振敏型仪器、仪表、设备的工作稳定性影响巨大,将导致其精度丧失、使用寿命缩短;然而,振动无处不在,因而要保证精密仪器设备精密稳定的工作性能,须对周围环境振动激励进行相应控制。本文以精密仪器厂房为研究对象,通过厂房整体隔振和仪器工作平台隔减振控制联合控制措施,对其在环境激励下的振动控制效果进行了分析和讨论。首先,对精密仪器厂房所处环境激励进行分析,并模拟生成相应的人工激励(0~500 Hz)及其时程谱,为后续计算分析提供依据。继而,利用有限元软件ABAQUS,建立隔振沟对厂房整体隔振效应分析模型;探索隔振沟深度、宽度、位置、填充物及数量等因素对其隔振效果的影响规律。结果表明:隔振沟位置越靠近激振点和拾振点,其减振效果越好;在一定范围内,减振效果随隔振沟深度增加而增强,而宽度对减振效果影响不大;选择填充物越硬(剪切模量)减振效果越好;增加隔振沟数量其减振效果有明显改变,但减振效果取决于较深隔振沟。其次,基于课题组设计的MRE隔减振装置,对其进行磁路计算分析,结合磁流变弹性相关物理模型,提出能够反映该装置“出力”与电流关系的力学参数模型,并将理论分析结果与有限元仿真模拟结果进行对比分析,结果表明:理论值与有限元模拟结果吻合较好。最后,将加入MRE隔减振装置和高阻尼隔振支座的精密仪器工作平台进行参数化建模,建立了能够反映该平台主要运动姿态的七自由度参数模型;结合控制装置工作特性,提出相应的平台隔减振控制策略,并采用模糊控制算法对上述所建立的隔减振平台控制系统进行动力响应分析,结果表明:采用被动控制时,中高频(30 Hz~100Hz)控制效果为70%左右,而在0~30 Hz范围内,被动控制效果仅为50%左右;半主动控制时,上述频段控制效果可分另达到90%和75%左右。
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