随着通信技术的不断发展尤其是光通信技术的发展,人们对带宽的要求也日益提高,大容量、高速率以及高频谱效率的光通信网络逐渐成为下一代通信网络的主流。波长可调谐激光器在简化DWDM(密集波分复用)系统光源配置的同时也大幅度提升了光通信系统的性价比。目前,波长可调DFB-LD(分布反馈激光器)已成为光通信系统至关重要的一部分。另外,随着MEMS(微机电系统)技术的发展,可调谐的GaN(氮化镓)激光器及滤波器已有报道,但是基于AlN(氮化铝)材料集成制备波长可调谐DFB-LD的研究较少。本文依据严格耦合波理论和介质平板波导理论,基于MEMS(微机电系统)技术,利用周期可调谐的布拉格光栅设计了一种AlN(氮化铝)波长可调DFB-LD(分布反馈激光器)。采用梳齿状驱动器驱动光栅动态调节,通过数值计算并且利用有限元软件COMSOL建立了基于ALN的可调DFB-LD二维模型,对其在1310 nm波段进行模拟仿真。分析了激光器电场模式在不同光栅结构参数下的输出特性,确定了DFB-LD的光栅结构参数。分析表明,激光器输出波长与光栅周期呈线性关系,且一个光栅周期对应多个不同的光栅高度值。在小于模式截止光栅高度情况下呈20 nm周期性分布。并依据光栅周期和激射波长的关系,提出了制作1290~1330 nm及1530~1565 nm波段可调激光器的可能性,为实现波长可调谐DFB-LD的制造提供了理论基础及数据参考。