【摘 要】
：
本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静电梳齿结构光开关模型,采用拉格朗日―麦克
论文部分内容阅读
本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静电梳齿结构光开关模型,采用拉格朗日―麦克斯韦方程从能量角度对双层静电梳齿结构在外加阶跃电压激励下的动态响应过程进行分析与计算,确立了拉格朗日函数,建立了系统的数学模型;使用MATLAB软件进行仿真,得到其动态响应过程并对其仿真结果进行分析与研究。在此基础上,引入气膜梳齿,修正了系统的响应时间;提出了一种电容负反馈方案,对双层静电梳齿结构进行改进,加入负反馈电容,增大了梳齿位移,提高了光开关的稳定性;建立结构优化模型,确定目标函数和约束条件,优化了系统的响应时间。
其他文献
摆振现象是飞机地面运动过程中发生的常见问题，对飞机的安全性、经济性与操纵性等具有很大的危害，长期以来未能得到完全解决。本文以应用分岔理论为基础，对非线性摆振运动的稳定
空气预热器传热元件是回转式空气预热器的核心组件,也是决定回转式空气预热器漏风率、寿命、可靠性的主要因素。由于国内传热元件自动化冲剪生产线的制造尚处于起步阶段,因此
数字减影血管造影技术(DSA)是现代医学图像研究领域的一大热点之一,而图像的边缘是图像的基本特征,边缘检测是图像处理的基础。由于DSA图像会伴随着各种噪声,而且血管的细节
该文提出了模具型面几何形状的曲面单元描述法,基于此方法推导出逐级更新接触搜索算法,引入了优化求交迭代初值选择方案,建立了以法向距离以及法向接触力作为判断依据的双重
脑干听觉诱发电位信号是当听觉系统受到特定声音刺激后表现在头顶与乳突之间约10ms的一系列电位变化,具有低幅值、低信噪比的特点,目前广泛应用于听力检测与筛选等临床实践中
全球经济的一体化,以互联网技术为代表的一批高新技术的飞速发展,使新产品的开发过程又添加了诸如跨地域,跨学科,跨部门的协同设计与讨论等新的特性。 本文探讨了网络环境
随着测量技术的不断发展,现代工业对构件尺寸检测的准确性及快速性要求越来越高。图像测量技术作为一种非接触测量手段,以其高精、高速、高效、高自动化程度等优点,很好的满
在当前新冠肺炎没有疫苗和特效药物的情况下,康复者血浆成为治疗新冠肺炎重症患者的压舱石.rn来自国药集团中国生物的最新消息称,依据Ⅰ期临床试验结果,中国生物总结了康复者
“瑞雪兆丰年”是我国一句广为流传的农谚,它的意思是说:冬天下几场大雪,是来年庄稼获得丰收的预兆。那么“下雪”和“丰收”之间到底有没有必然联系呢?科学家发现,除御寒的