【摘 要】
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本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静电梳齿结构光开关模型,采用拉格朗日―麦克
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本文综述了MEMS光开关的技术特点、研究应用以及国内外发展趋势。介绍了静电梳齿驱动MEMS光开关结构以及工作原理。针对一种双层静电梳齿结构光开关模型,采用拉格朗日―麦克斯韦方程从能量角度对双层静电梳齿结构在外加阶跃电压激励下的动态响应过程进行分析与计算,确立了拉格朗日函数,建立了系统的数学模型;使用MATLAB软件进行仿真,得到其动态响应过程并对其仿真结果进行分析与研究。在此基础上,引入气膜梳齿,修正了系统的响应时间;提出了一种电容负反馈方案,对双层静电梳齿结构进行改进,加入负反馈电容,增大了梳齿位移,提高了光开关的稳定性;建立结构优化模型,确定目标函数和约束条件,优化了系统的响应时间。
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