基于MEMS的压电和摩擦电能量采集器的设计、加工与测试

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近年来,无线传感网,可穿戴设备和可植入式医疗设备等无线低功率设备正在处于快速发展的阶段,但是要得以广泛应用,存在着技术上的难题,其中一个问题就是如何为这些设备节点供电。目前无线传感器网络节点、可穿戴设备和可植入式医疗设备的主要使用化学电池作为电量供应装置。虽然这些化学电池的能量密度和使用寿命得到了很大的提升,但是其存储的电量终究是会用光的。考虑到这些传感器节点或者可植入式设备的工作环境的恶劣性,对其进行电池的更换几乎是不可能。如果能从这些设备的工作环境中采集能量给其供电,就能形成自治系统。因此能量采
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