本文以本课题组自行设计的硅微角振动单自由度陀螺仪为研究对象,围绕如何提高驱动稳定性的目的,对硅微振动陀螺仪的驱动控制技术及相关问题进行了研究。 针对硅微振动陀螺仪的工作特点,本文首先研究了硅微梳齿驱动器的工作特性,提出了驱动控制的要求。结合驱动控制的特点,本文还讨论了限制硅微振动陀螺仪测量能力的各种噪声和误差因素以及相应的消除和抑止方法,进而分析比较了硅微振动陀螺仪中的各种微小电容检测技术。在大量的开环驱动实验基础上,本文讨论了各种开环驱动方式的差异,并得到了硅微振动陀螺仪驱动模态的性质及其影响因素。为了实现自动跟踪驱动模态固有频率的目的,本文分析了利用锁相环的频率锁定作用进行闭环控制的方法。最后,本文着重研究了基于梳齿驱动器自激振荡的硅微振动陀螺仪闭环驱动控制方法,在此基础上,还进行了驱动振幅恒定控制方法以及基于锁相环的信号处理方法的研究,从而为未来硅微振动陀螺仪电子线路部分的进一步简化做好准备。