原子刻印理论及实验研究

来源 :中国科学院上海光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hzn_avr
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中国科学院量子光学开放实验室现有两个原子光刻研究项目:Cr原子的沉积型原子刻印和亚稳态Ar原子束的虚狭缝型原子刻印项目,现已建立了原子刻印所需真空系统;Ar、Cr原子刻印实验用的两套原子束和探测系统;Cr原子刻印的激光稳频、倍频系统和Ar原子刻钝 的稳频系统等单元装置.为获得合适的用于原子光刻的光源,正在努力调试一套红外染料激光系统.理论方面,研究人员提出利用现有的Ar<+>激光器,进行红移高功率失谐驻波光场Cr原子刻印的方案及实验,并从理论上对此方案进行了比较详细的论证和改进.在近共振原子刻印,研究人员研究了斜交蓝移激光驻波场构成的原子束消色差原子透镜速度分布较宽的原子束的聚焦特性的改善.在任意图形原子刻印,研究人员提出了利用磁透镜进行原子全息和像缩印的方案.此外,在分辨惰性气体亚稳态原子种类时提出了一种新的利用激光π脉冲测量原子束平均绝对流量的方法.
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