平面子孔径拼接的干涉测量研究

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子孔径拼接测量技术拓展了干涉仪的横向和纵向测量范围,能够以低成本、高分辨率检测大口径光学元件。本文首先研究了子孔径拼接技术,包括子孔径拼接原理、分类和子孔径定位。其次在均化误差思想的基础上,研究自由拼接技术,使任意相连的子孔径能够实现自由拼接。同时编写程序,并通过模拟来验证自由拼接技术的可行性,经验证,在只考虑拼接算法误差的情况下,该算法精度优于10-11,并人为地加入不同的误差,查看各种情况下的拼接精度。第三,搭建实验平台、完善子孔径测量实验的硬件,实现各子孔径波前数据的获取,并实现子孔径
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