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铁电薄膜作为铁电材料一种极为重要的形态，具有非常特殊的铁电性、压电性、光电效应、热释电效应、光折变等一系列重要的特性和性能，而在铁电材料中占有重要的一席之地。而且由于铁电薄膜体积小，厚度仅在数十纳米到微米之间，非常适合平面加工工艺，受到了材料科学、信息科学和微电子学等领域众多学者的关注。在众多的铁电材料中，Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3(PZT)因其优良的介电性能、压电性能、热电性能、铁电性能、光电性能和以及易与半导体技术集成等特点而引起国内外学者的广泛关注，已成为铁电存储器、传感器、微型压