【摘 要】
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微纳尺度下接触表面容易引发黏着和磨损,导致微机电系统产生严重的黏着、摩擦与磨损问题。它是导致微机械系统在制造和使用中失效的主要因素,也是当前微纳机械亟待解决的重要课题。本课题选题来源于国家自然科学基金项目：“微机械摩擦副接触力学行为多尺度耦合分析方法研究”的部分内容。首先对微纳尺度接触力学理论进行分析,利用纳米压痕仪和原子力显微镜,在探针与试件之间形成球面-平面类型的微机械摩擦副。然后通过探针与不
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微纳尺度下接触表面容易引发黏着和磨损,导致微机电系统产生严重的黏着、摩擦与磨损问题。它是导致微机械系统在制造和使用中失效的主要因素,也是当前微纳机械亟待解决的重要课题。本课题选题来源于国家自然科学基金项目：“微机械摩擦副接触力学行为多尺度耦合分析方法研究”的部分内容。首先对微纳尺度接触力学理论进行分析,利用纳米压痕仪和原子力显微镜,在探针与试件之间形成球面-平面类型的微机械摩擦副。然后通过探针与不同晶向的试件样品表面之间的接触力学行为实验和接触滑动力学行为实验,再利用最后利用原子力显微镜扫描
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