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随着强激光、空间光学等领域的发展,系统对光学元件表面质量的要求越来越高,对中频段表面误差的检测受到了广泛地重视,传统的面形误差评价方法已不能满足要求。目前能检测到光学元件的中频段误差的干涉仪相对较少,给光学元件的加工制造带来了困难。因此,本文开展了中频段检测和高分辨率干涉仪关键技术的研究。本文分析了不同频段误差的检测和评价方法,深入研究了中频段评价指标功率谱密度PSD (Power Spectral Density)的定义及其数值计算方法；对测量和计算PSD过程中的采样密度和可测得的频率范围