【摘 要】
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在实际生产中急需一种新型的表面粗糙度测量系统,以实现精确的无损检测.该文就介绍了这样一种系统,该检测系统采用差动像散法为基本原理,通过检测聚焦误差信号的变化驱动聚焦
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在实际生产中急需一种新型的表面粗糙度测量系统,以实现精确的无损检测.该文就介绍了这样一种系统,该检测系统采用差动像散法为基本原理,通过检测聚焦误差信号的变化驱动聚焦透镜的移动,从而保证被测表面始终在透镜的焦平面上,聚焦透镜的连续变化即反映被测表面的表面形貌.文中对系统的几个关键要素进行了详细的研究和分析.差动像散法用于测量表面形貌时,线性范围较小,最大测量范围约为±5μm,这对我们来说是远远不够的,为了满足实际应用需要,我们采取了一系列方法:动态法,远焦光杠杆和非线性补偿法来扩展系统的量程,以达到粗糙表面和小尺寸测量的要求.最后对所研制的测量系统进行了性能测试,实验结果表明,文中进行的理论分析和所提出的扩展量程的方法是正确可行的.
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