【摘 要】
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半导体生产线作为半导体制造系统的重要组成部分,其调度策略的好坏与生产线设备的利用率、产品的生产时间和生产线的效率等密切相关。对一组任务可能存在几种调度方案,因此如
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半导体生产线作为半导体制造系统的重要组成部分,其调度策略的好坏与生产线设备的利用率、产品的生产时间和生产线的效率等密切相关。对一组任务可能存在几种调度方案,因此如何确定调度方案的优劣就需要计算机仿真来实现。半导体制造系统存在可重入现象,即工件在工艺流程的不同阶段使用同一台设备进行加工,半导体生产线因此被称为第三类系统。由于存在重入,加剧了工件对设备使用权的竞争,致使工件等待加工的时间相应增加,这给半导体生产线的调度带来了极大的困难,仅靠某个单一的调度策略,很难实现对生产线的良好控制。较有效的办法是将各种控制与调度策略及模型有机地集成在一起,并用仿真建模的方法来验证调度方案的优劣,从而对生产线进行有效地控制。本文就是基于这一目的应用仿真方法求解可重入半导体生产线的调度问题,主要完成了以下几个方面的工作:1.在与传统的Flow-shop及Job-shop对比的基础上,根据半导体生产的流程和半导体生产线的特点,分析总结出半导体生产线调度规则与Flow-shop及Job-shop调度规则的不同。2.讨论了离散事件的仿真算法,为实现半导体生产车间的仿真提供
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