在区域经济一体化和经济全球化的背景下，区域产业集群表现出很强的竞争优势和生命力，是当今世界上可观察到的最为显著的经济现象之一，这使得产业集群已经成为越来越多国家和地区用来提升产业竞争力的核心战略。为了更好的促进区域产业集群的发展，文章从区域产业集群的政策分析研究入手，针对我国目前在应用恰当政策分析方法对区域产业集群政策进行深层剖析方面的缺失和空白，立足于前人的理论基础，运用系统分析方法结合流程图模型的辅助来深入分析区域产业集群政策。首先，文章在梳理产业集群政策的概念、特征和分类的基础上，比较分析了国外产业集群政策，总结了产业集群政策在集群发展不同阶段的作用，并且分析了我国现行区域产业集群政策的现状和不足。其次，分析了产业集群政策系统分析方法的特点和作用，应用产业集群政策系统分析方法，通过产业集群政策系统分析的程序，构建了区域产业集群政策分析的流程图模型构建。第三，应用文章构建的模型，选取陕西省装备制造业产业集群进行实证分析，通过分析发现，陕西省装备制造业产业集群在园区建立、能力建设、核心企业培育以及配套企业等扶持政策尚不健全。最后，依据分析结果，提出了陕西省装备制造业产业集群政策制定应该从总体发展规划政策、产业集群集聚能力培育和产业集群创新能力三个方面加强。