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全球正处于能源危机和环境污染两大问题的困扰之中,太阳能作为取之不尽、用之不竭的清洁能源越来越受到人类社会的广泛关注。本论文以探索新材料、提高太阳能电池效率为目的,设计并制备了NiO_x/a-Si/AZO结构的太阳能电池。主要内容为以下三个方面:1.直流磁控反应溅射沉积NiO_x薄膜,研究了氧气/氩气流量比、衬底温度及退火过程对NiO_x薄膜的影响。实验和分析表明,随着氧气/氩气流量比的增加,薄膜的透过率呈现出减小趋势、薄膜电阻呈现出先减小后增大趋势,室温条件下,氧气/氩气流量比为1:1时,