【摘 要】
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红外显微成像系统具有可视化、图谱合一、微区化、高精度和高灵敏度的优点,并以其快捷、无损的检测方式,在红外成像系统应用中显示了愈来愈重要的地位。本项目围绕红外显微成
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红外显微成像系统具有可视化、图谱合一、微区化、高精度和高灵敏度的优点,并以其快捷、无损的检测方式,在红外成像系统应用中显示了愈来愈重要的地位。本项目围绕红外显微成像系统的应用技术展开研究。文中介绍了国内外红外显微成像系统的技术概况以及应用领域,根据对实际应用项目的研究,分析了工程应用中各方面的技术:与系统配套的不同用途的测试软件和分析软件、仪器校准用MEMS微加工标准样品的制备、系统温度的标定及高温度可控精密型样品工作台制作等,并详细论述红外显微镜头设计与应用过程中红外显微系统集成实现,完成了各硬件连接的软件编写及调试,加工制作了原理样机。目前,该套系统能实时显示被测样品的微区红外热图像,成像效果理想。
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