【摘 要】
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该文主要从微流控芯片微通道的微加工、密封微流路的键合技术和整体PCR微流控芯片系统封装这三个方面对微流控芯片进行了深入的研究.该文探讨了248nm的准分子激光对于高聚物
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该文主要从微流控芯片微通道的微加工、密封微流路的键合技术和整体PCR微流控芯片系统封装这三个方面对微流控芯片进行了深入的研究.该文探讨了248nm的准分子激光对于高聚物材料的加工机理,总结和分析了现有的理论模型.研究了各种实验加工参数对于刻蚀PMMA材料的影响,并在此基础上得到了适合PMMA基PCR微流控芯片微通道加工的工艺参数,能够实现通过改变工艺参数和加工步骤控制微通道的尺寸和表面形貌.同时首次提出了利用低能量准分子激光对微结构进行非接触、无应力的新型抛光方法,显著提高了微结构的表面质量.该文针对微流控芯片内部微通道尺寸微小,分布复杂的特点.主要研究了胶粘键合技术和热键合技术,在掌握键合机理的基础上设计了键合装置,改进了键合方法并总结了各种键合参数对于微流控芯片总体键合效果的影响,得出了适用于微流控芯片键合的稳定可靠的键合方法和工艺参数.该文根据PCR反应条件的要求,集成封装了PCR微流控芯片上的微流路单元、温控单元和接口单元.不仅能够实现反应单元与进样系统的准确连接而且可以保证芯片内部各反应温区彼此独立且同一温区内部分布均匀.整体上采用了双列直插DIP的封装形式,通过与外置控制部分的联用,简化了PCR反应装置,为整个PCR微流控芯片系统的制作打下了基础.
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