基于微悬臂结构的生化传感器，以其高灵敏度、微型化、可集成化等特点，逐渐在生化检测领域显示出独特的优势，并占据越来越大的比重，成为国内外的研究热点。 作为该传感器中的敏感元件，微悬臂的表面会涂镀一层敏感层以吸附环境中的被测物。当被测物附着在微悬臂表面的敏感层时，微悬臂质量的变化会改变其物理特性，即产生自由端的位移变形，或者引起固有频率的偏移。基于这两种现象，微悬臂生化传感器有静态和动态两种工作模式。动态模式比静态模式具有更高的灵敏度和更广的应用范围。本课题就是对动态模式下，微悬臂共振频率检测方法的研究。 微悬臂生化传感器可以在各种环境下工作。在真空和空气环境中，它具有最高的灵敏度；而在液体环境中，由于受到很大的阻尼作用，微悬臂谐振的品质因数仅相当于空气中的1/16，微悬臂的力敏性会有很大下降。针对这个问题，论文中设计了一个正反馈电路，将微悬臂的振荡信号与激振信号叠加，从而使微悬臂稳定在其固有频率上自激振荡，再通过测量该振荡信号的频率，就可以得到高品质因子的微悬臂共振频率。 实验表明，该电路使微悬臂在液体环境中的品质因数提高了约20倍，也使微悬臂频率对附加质量检测的分辨率达到1pg，提高了200倍。