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电厂的安全生产需要对大型高温管线进行损伤分析、寿命监测与预测维修,而高温管线的寿命在线监测关键就是依靠可长时间、高精度、稳定工作的高温应变计。目前国内应用的高温应变计如PtW丝式应变计、PdCr丝式应变计、半导体薄膜式应变传感器等,大多存在横向效应大、热输出大、寿命短、价格昂贵等缺点。因此寻找一种精度高、稳定性好、价格低廉的高温应变材料是非常有意义的。本文主要研究了在高温应变传感器中有重要应用前景的TiB2半导体薄膜的制备、表征、微观结构和电学特性。论文包括如下几个方面内容：1.采用磁控溅射方