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自2004年英国曼彻斯特大学的科学家利用胶带剥离高定向热解石墨获得了独立存在的高质量石墨烯以来,石墨烯优良的物理,机械和光学性质引起了人们的极大关注。在众多的制备方法中,化学气相沉积法以其低成本高经济效益的优势在众多的制备方法中脱颖而出,成为制备大面积、高质量石墨烯薄膜的最重要的方法。 在本文中,以固态铜箔作为石墨烯的生长基底,以甲烷作为碳源,涉及到了石墨烯的常压及低压化学气相沉积法制备。 在常压条件下,为了寻求单晶石墨烯高质量生长的最优参数,首先确定了适宜的生长温度,研究了氢气、氩气流量对石墨烯生长的影响,然后在优化后的条件下制备出了高质量的圆形石墨烯,发现了其无缝缝合的现象,最后探究了石墨烯结构随着时间的变化情况,推测了不同形貌相互转变的机理。 在低压条件下,在优化的生长条件下制备出了高质量的田径场状的石墨烯,探究了不同生长条件下石墨烯形貌的转变过程,最后,研究了氢气对石墨烯的蚀刻作用。 这些石墨烯形态的综合研究对于精确控制石墨烯形貌从而理解石墨烯的成核生长机理有着重要的意义。