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电动执行器具有定位精度高,传输信号快等优点,在自动化领域应用广泛。但是,电动执行器的推力不大,定位控制过程中必需确保供电的持续性,耗电量巨大。气动执行器具有结构简单,同等缸径下输出力大且工作介质清洁等优点。但是由于空气的可压缩性,导致气动系统的稳定性较差。气动位置伺服系统执行器受到很多非线性要素的影响,将对气动系统的定位精度造成一定的影响,使之大幅下降。本课题研究的一体化电-气复合执行器则可以很好地解决电动执行器功率消耗大,气动系统定位精度不高的问题。一体化电-气复合执行器是将小功率的两相混合式步进