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光导开关是一种光控电开关,因其可容功率大、体积小、耐击穿电压高、导通电阻小、响应速度快、重复频率高、抖动小和可靠性高等特点,逐渐受到脉冲功率领域学者们的关注,也因其能产生皮秒量级的电脉冲而在太赫兹领域受到重视。伴随着SiC单晶材料生长技术的日益成熟和其优异的半导体性能,促进了SiC光导开关的研究。本文研究了以4H-SiC为基体材料的平面型光导开关。简要介绍了光导开关的研究背景、工作原理以及发展历史。根据材料内部载流子连续性方程,理论模拟了SiC光导开关的输出特性。基于测试电路的原理,利用相关软件对测