固结磨料研磨抛光技术是目前实现硅片、光学玻璃等硬脆材料的超精密加工的最有效手段，具有加工效率高、成本低、环境友好、工艺可控性强等优点，因此固结磨料研磨抛光越来越受到关注。但固结磨料研磨抛光在实际应用中还存在一些问题，本文针对其中一些问题开展了以下工作：1、开展了适用于研磨加工水晶玻璃的固结磨料研磨垫组分优化的研究。通过单因素实验研究了金刚石粒径和含量、铜粉含量、碳化硅粒径和含量对固结磨料研磨垫的耐磨性能和材料去除率的影响；结果表明：增大金刚石粒径和增加金刚石含量可提高固结磨料研磨垫的耐磨性能和材料去除速率；在一定范围内，提高铜粉和碳化硅含量可提高固结磨料研磨垫的耐磨性能和材料去除速率，但铜粉和碳化硅用量过多会降低固结磨料研磨垫的耐磨性能；金刚石和碳化硅粒径较大时，易造成加工后水晶玻璃工件表面出现划痕等缺陷；获得了优化的固结磨料研磨垫的组分组合。2、仿真优化了制备固结磨料研磨垫的模具结构。通过仿真，模拟分析了固结磨料研磨垫的厚度、注浇口位置、注浇口数量、注浇口类型、注浇口尺寸、冷流道尺寸、主流道尺寸等因素对固结磨料研磨垫的收缩率和变形量的影响，实验验证了模具优化后，固结磨料研磨垫的收缩率和变形量确实得到了改善。3、评价了固结磨料研磨垫的加工性能。提出了以材料去除速率、使用寿命、研磨抛光加工后水晶玻璃工件表面质量等作为评价指标，并通过实验对比了电镀研磨盘、树脂砂轮和固结磨料研磨垫的性能，结果表明：电镀研磨盘的材料去除速率较高，受加工工件类型影响较小，在其整个寿命周期基本不会出现釉化现象和局部严重磨损问题，但加工后水晶玻璃工件表面质量较差，且使用寿命较短；固结磨料研磨垫加工后的水晶玻璃工件表面质量最好，使用寿命受加工工件类型影响较大。