表面波器件在很多领域都得到了广泛的应用,特别在通信系统比如雷达和手机中更是起到了非常重要的作用。虽然现已有一系列的分析和数值计算的方法例如等效电路模型,P矩阵模型以及COM模型等,对表面波器件进行模拟,但是这些方法对于在多层基底上制造并包含复杂叉指换能器的未来无线通信器件的精确模拟,还不能达到精确。而这些方法中,除了有限元方法(FEM)能够精确预测高频率表面波滤波器的特性外,其他的方法都无能为力。然而FEM也存在其自身的缺陷,耗时长,对计算机性能有很高的要求等。本文采用的是有限时域差分(FDTD)的方法对表面波器件进行模拟。将压电方程和牛顿运动方程离散化,在时间和空间上进行迭代,运用完美匹配层(PML)为边界吸收条件,从而对表面波器件的性能进行模拟。本文运用ANSOFT Maxwell2D软件计算器件的电场。最终能预测任意场分量在时间和空间上的分布。并根据输入输出的电信号,最终算得表面波器件的频率响应曲线。