准分子激光在工业制造、科学研究、生物医学、核聚变、光电子、半导体等重要的课题研究领域上有广阔的发展远景。特别是准分子激光在光电材料、光电技术上有得天独厚的优良性能。因此本文以气相沉积、外延生长、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜制备及后续的光刻，激光与物质的相互作用，等离子体研究为目的，研制获得了激光脉宽18ns，单脉冲能量150mJ，矩形光斑大小2cm×1cm，束散角3mrad，最高重复频率5HZ的XeCl准分子激光器。 本论文首先对准分子激光特点，原理，脉冲放电进行了评述，其次，以试制XeCl准分子激光器为目的，探索并完成了电极设计、回路电感减小方法、火花开关设计、ns陡前沿放电、紫外预电离、辉光放电、脉冲功率技术研究。针对目前准分子激光结构采用了简化结构，进行了物理设计，工程设计，实现了较大激励体积，尤其在实现电路的可靠性，独立性，安全性，充配气系统的密封准确配比上作了大量工作。准分子激光器具有电极试制代价小，电感低，激光脉宽为18ns等特色。 最后论文对试制成功的准分子激光器参数进行了测试。试验结果表明激光特性良好，与同类相比，准分子激光装置激光输出情况良好。