【摘 要】
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太阳能电池可以将光转换为电,对其性能的研究及利用可以有效地解决能源危机和环境污染问题。本论文围绕如何提高太阳能电池性能,开展了三部分的研究:第一部分是应用于HIT电池的P型氢化非晶硅薄膜的制备研究;第二部分是晶硅电池铝背场的制备研究;第三部分是掺铝氧化锌(AZO)薄膜表面制绒研究。第一部分使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备氢化非晶硅薄膜。研究了硼掺杂浓度对氢化非晶硅薄膜沉积速率、微
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太阳能电池可以将光转换为电,对其性能的研究及利用可以有效地解决能源危机和环境污染问题。本论文围绕如何提高太阳能电池性能,开展了三部分的研究:第一部分是应用于HIT电池的P型氢化非晶硅薄膜的制备研究;第二部分是晶硅电池铝背场的制备研究;第三部分是掺铝氧化锌(AZO)薄膜表面制绒研究。第一部分使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备氢化非晶硅薄膜。研究了硼掺杂浓度对氢化非晶硅薄膜沉积速率、微观结构及光电性能的影响。得出如下结论:1. 微量硼的加入可以促进氢化非晶硅薄膜的生长,在硼掺杂浓度为0.
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