HgCdTe光伏器件的工艺与器件计算机模拟

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该课题从计算机辅助设计(CAD)角度,对离子注入法制作基于碲镉汞材料的n-on-p型红外光伏探测器进行计算机模拟.模拟的机理是认为注入中造成的部分间隙Hg离子被缺陷捕获,在随后的退火中这些间隙离子从损伤区中逃逸出来,湮灭了材料的Hg空位并显现出低浓度的背景施主而形成结.文章首先给出了一个简单而有效的工艺模型,包括注入和退火两部分,然后详细论述了两个模型的表达式及针对它们的数值处理方法.接着结合实际工作,简要介绍了程序的编制及最终实现了的碲镉汞材料的离子注入工艺模拟集成环境.文章最后对模型中各个参数的意义及模拟的结果等进行了分析,对模型作出了适当的评价,并提出了改进意见及未来发展完善的方向.
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