光栅结构优化微测辐射热计性能的研究

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红外探测器应用广泛,微测辐射热计作为其核心部件,普遍存在红外吸收率低的问题,使红外探测器的探测率受到影响。本文以光学激励结构提升微测辐射热计的红外吸收率,进而实现器件性能的优化目的。本文以表面等离激元为原理,重点研究光栅结构对红外微测辐射热计吸收效率的提升效果。以传统微测辐射热计为模型基础,结合红外辐射特性、光学特性、氧化钒材料特性等理论基础进行建模仿真。采用有限元法,分析讨论等离激元激发结构对基础模型的结构调整,以及对热学性能、光学性能、电学性能的影响。首先,建立红外测辐射热计仿真模型,利用热学仿真优化其模型结构,使器件的机械性能和热学性能达到平衡。其次,建立等离激元优化模型,对其等离激发结构进行参数调整和优化,逐步得到优化热吸收模型,证明光栅结构对微测辐射热计的性能提高具有明显作用。根据在吸收单元结构的位置不同,本文分层先后研究三处光栅结构的优化模型,利用其光学仿真结果归纳三种光栅位置的作用及特点。最后,整合之前的模型数据,提出建立复合光栅优化模型,以一种多级光栅结构的仿真结果,进一步验证了光栅陷光结构的有效性和理论可行性。在本文研究的优化模型中,复合光栅较单级光栅进一步提升像元的红外吸收率,远超未加光栅基础模型的光学性能,在整个波段范围内的平均红外吸收率达35%以上。本文提出的模型可为后续研究做数据积累,为设计新型的红外测辐射热计提供设计思路。
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