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大口径平面光学元件广泛的应用于航空航天、天文探索、高功率激光系统等重大国家工程中,因此,对于大平面光学平面元件面形检测的研究显得尤为必要和重要。常用干涉方法对平面面形进行检测,菲索干涉仪作为典型的平面面形干涉检测仪器,其检测精度很大程度上取决于光学参考平面的面形精度。光学平面口径增大致使其自身重力的增加,会使得参考平面发生重力变形,从而对待测平面元件检测结果产生很大的误差。所以大口径参考平面的高精度面形的标定成为检测过程中必不可少的一环,也是保证大口径光学系统检测水平提升的必然途径。本文在传统的三平