应变式光纤珐珀压力传感器的研究

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光纤珐珀传感器具有体积小、耐高温、耐腐蚀等优点可以应用于石油井下、航空航天等复杂的环境中。本文在157 nm激光器制作光纤珐珀传感器的基础之上,提出了两种MPa量程的压力传感器设计方案,封装了传感器原理样品,并进行了性能测试。本文研究了两种结构的应变式光纤珐珀压力传感器:(1)首先,提出了基于圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器的封装方案,用结构力学的方法和ANSYS软件研究了周边固支的圆平膜片在均布压强下的应变特性。最后,用石英片作为弹性膜片,封装了圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器,测得该传感器的量程为0 MPa-0.2 MPa,灵敏度为3.17 rad/MPa,线性度为0.999。(2)为了提高圆平膜片结构的压力传感器的性能,提出了基于梁膜结构的应变式光纤珐珀压力传感器的封装方案,在弹性圆平膜片尺寸固定的基础下,用ANSYS软件对梁膜结构中梁的尺寸(长、宽、高)采用单一变量法模拟分析得到了梁的最佳尺寸,用不锈钢材料制作的圆平膜片和梁膜分别作为弹性膜片,封装了圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器和梁膜结构的应变式光纤珐珀压力传感器,测得圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器的量程为0 MPa-1 MPa,灵敏度为1.34 rad/MPa,线性度为0.999;梁膜结构的应变式光纤珐珀压力传感器的量程为0 MPa-1.6 MPa,灵敏度为1.038 rad/MPa,线性度为0.999。实验结果表明,梁膜结构的应变式光纤珐珀压力传感器可以改善圆平膜片结构的应变式光纤珐珀压力传感器的非线性效应,增大传感器的量程。
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