随着半导体行业的快速发展,而且国外很多电子公司均在国内设立了分支生产基地。再加上国内很多企业也加入了这个朝阳产业。所以,现在有很多的电子洁净厂房在中国相继建立起来。由于洁净厂房和普通厂房有很大区别,首先在厂房结构和选材上,但是一旦厂房建成后,不需任何控制。其次在空调系统有所不同,洁净室环境根据不同的产品也有所不同。他对房间的温度和湿度有很高的要求。目前很有必要对洁净环境进行有效的控制,以达到半导体环境的高要求。目前,一般电子厂有下列几道工序,原材料晶圆片经切割、塑封,引脚切筋、打弯、测试等工序之后成品出厂。在生产过程中,如果厂房洁净度不高,粒子如果过多,将增加空气的导电性,将会击穿电子芯片。一旦温度或湿度不再可控范围会影响到静电和芯片变形。所以,对于一个理想的洁净厂房控制系统来讲,它应该具有高的可靠性、精确性和可适应性,并且在外界干扰的情况下,尽快回到控制范围内。因此,我们认为洁净厂房控制的研究是十分有必要的。洁净室空调一般分为处理室外空气的新风机组和控制室内温室度的空气处理机组。洁净室的新风系统由两用一备三台新风机组来供给。此系统能保持洁净室相对于室外大气的正压,补充工艺设备的排气及维持洁净内要求的温度和相对湿度。洁净区域通过装有高效过滤器的空气处理机组来循环空气去处粒子和消除室内的热负荷。目前,在世界上通常的做法为:用PID控制器来作为主要控制器。他在要求不是特别高的时候,可以起到很好的效果。但是,响应速度和控制精度很难满足半导体晶元生产环境的要求。所以,我们在环境控制系统中引入了模糊PID控制系统并结合PLC控制器。可以更好控制洁净室的温湿度,以及半导体生产所需的环境。模糊自调整PID控制是运用模糊数学的基本理论和方法,把规则的条件、操作用模糊集表示,并把这些模糊控制规则以及有关信息(如价