双工件台是光刻机运动控制系统的核心部件,双工件台的运动由多个电机共同驱动。由于双工件台是高速运行的平台,这样使得双工件台伺服控制系统对实时性要求极高。晶圆传输升降机构在双工件台中负责晶圆的上下片,其动态性能和稳态误差影响光刻机的产率和晶圆硅片质量。本文主要针对双工件台嵌入式上下位机进行设计,并对晶圆传输升降机构进行了运动控制研究。首先,针对双工件台的功能需求,确定异构平台的上下位机系统的软件总体架构。对下位机Vxworks嵌入式系统结构进行详细介绍,并设计了嵌入式主控CPU板与多块运动控制卡间的通信机制;接下来对下位机Vxworks嵌入式系统进行任务规划,包括Vxworks嵌入式系统任务间同步与通信,任务间调度等任务,最后具体实现下位机嵌入式的多任务实时系统。其次,基于MFC开发了上位机界面,对异构平台的大小端模式进行研究,解决了上下位机的数据传输问题,最后基于功能需要详细介绍了上位机程序设计,并通过实验,验证了上位机的正确性。再次,针对晶圆升降机构控制系统进行软硬件介绍,设计了包括传感器模块、信号采集卡在内的硬件电路,并对运动控制卡的软件进行了设计,最后验证各功能模块的正确性。最后,利用搭建的软硬件平台,进行晶圆升降控制系统实验,设计基于前馈控制的PID控制算法,通过实物验证控制系统的正确性。