【摘 要】
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该文介绍了我们独立研制一种光纤探针作为探测器的新型中红外扫描近场光学显微镜(SNIM),该显微镜以BFEL装置输出的中红外激光为光源,用于半导体和生物样品的红外近场成像及微
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该文介绍了我们独立研制一种光纤探针作为探测器的新型中红外扫描近场光学显微镜(SNIM),该显微镜以BFEL装置输出的中红外激光为光源,用于半导体和生物样品的红外近场成像及微区谱特性的研究.SNIM是扫描近场光学显微镜(SNOM)技术的外延,它所成的光学图像能突破光衍射极限,工作在红外区域中远范围,由于是光源在中红外波段,使得它的光学系统和信号探测系统与一般的SNOM不同.SNIM的具体装置包括扫描部分近场逼近反馈控制部分,FEL照明及光信号探测部分.近场逼近反馈控制部分,我们采用了切变为作为探头和样品的距离控制,采用了石英晶振超声共振的调控方法检测针尖和样品的距离,为进一步开发红外近场光谱的工作奠定了基础.实验上还用腐蚀法研制了用于探测中红外光信号——光纤探针,结果表明该方法在针尖尺寸上有较好的重复性,可以得到尖端直径150nm左右的针尖,达到了红外近场光学显微镜的基本要求.
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