伴随着信息时代的到来,越来越多的科学数据需要及时有效地被解释和分析,可视化技术就是一种行之有效的办法。同样,在微电子器件设计领域也需要用可视化技术对微电子机械系统(Microelemechanical Systems, MEMS)仿真得到的数据进行研究,而目前国内尚无完整成熟的面向MEMS CAD设计软件平台。基于此目的,本文在MEMS仿真数据可视化方面作了以下的探索和尝试。首先,在二维显示方面,结合等值线法和立体图法进行三角网格化绘制二维曲面;另外,对于形状较简单的仿真数据,基于其规则平面数据场的特性,提出基于点的绘制,大大提高了实时显示效率。其次,在三维显示方面,基于仿真数据规则标量数据场的特性,提出“剥层法”,一层一层剥出仿真数据的等值面后进行曲面绘制。其中,本文主要讨论了四面体三角剖分多义性问题和提出了“改进剥层法”对切割剖面获得的离散数据处理后进行曲面绘制。最后,以面向对象的思想处理MEMS仿真数据,建立了便于管理和操作的数据结构模型;利用独立于硬件和操作系统的一个工业标准的三维计算机图形软件接口OpenGL来实现模型的三维显示;以可视化的理念设计了整个显示系统。