【摘 要】
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该文研制了一套测量非球面面形的相移剪切干涉装置,面形检测精度:0.1μm.文中讨论了测量装置的整体方案,运用相移剪切干涉测试技术及波面重建、波面拟合等技术,对相移横向剪
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该文研制了一套测量非球面面形的相移剪切干涉装置,面形检测精度:0.1μm.文中讨论了测量装置的整体方案,运用相移剪切干涉测试技术及波面重建、波面拟合等技术,对相移横向剪切干涉图进行实时采集及处理,得到被测波面的面形.在处理过程中,首先采用边缘检测方法或目视测量法自动得到剪切量,无须动手操作遮挡光束,提高了测试自动化程度,避免了干涉图的抖动;在一维处理中,采用最小二乘法求解最适参考球面,不仅计算方法简单,不涉及求异、积分、迭代,适合编写计算程序,而且可直接得到圆心倒置坐标;在二维波面重建时,采用斜率法与多项式拟合法相结合的方法.最后用VB6.0编写菜单时,能在Windows环境下直接运行,调用采用Borland C++3.1和汇编语言编写的测试程序.
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