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宏/微驱动技术是随着科学技术的快速发展应运而生的。由于该技术能满足较大的运动范围和较高的运动精度要求,所以它被广泛的应用于微电子、航天、军事等高科技领域。国内外对宏微驱动直线进给技术研究比较多,但是作为主要运动形式之一的回转运动的宏微回转进给技术研究却很少。 本文在对国内外相关宏/微技术文献的研究基础上,设计了一种可将直线微动转换为回转微动的柔性铰链转换机构,用静力学和有限元法对柔性铰链转换机构进行分析,设计了精密回转系统,通过试验验证了系统的精确性。本文的主要内容包括: (1)在研究柔性铰链及压电陶瓷驱动器工作原理基础上,设计了一种包含多个柔性铰链的转换机构,分析了转换机构的工作原理。 (2)用静力学对柔性铰链转换机构的变形和受力进行了分析,用有限元软件对其进行了仿真分析。 (3)根据柔性铰链转换机构使用条件不同,设计了两套精密回转系统,评价了两套回转系统的特点。 (4)微动回转系统试验:分别对压电陶瓷驱动器的刚度、压电陶瓷驱动器的非线性、微动回转系统的直线-回转转换特性试验。 通过研究证明了论文关于基于宏/微技术的精密回转运动的方案是可以实现的。