微型化设备和微小尺寸产品拥有体积小、结构坚固、高精度、性能稳定、节能高效和智能化等显著的优点,因此在国防科技,生物医学,航空航天,信息技术,汽车制造及能源等关键领域起着越来越重要的作用。微尺度加工技术是获得具有微小尺寸特征零件最有效的加工手段之一,但之前广泛应用的微铣削加工技术获得的加工表面质量相对较差,鉴于传统的磨削加工效果优异,为了获得较好的微尺度机械加工表面质量,国内外对微尺度磨削加工技术的研究也越来越多。本文对硬脆材料微磨削加工中电镀金刚石微磨具的磨损机理进行了开拓性、探索性的研究,主要探讨了微磨具的磨损机理及其磨损的影响因素,并初步建立了微磨具的磨损预测模型。(1)探讨了微尺度磨削的加工方式,简单分析了微磨削加工中硬脆材料的材料去除机理,切屑的形成过程,并介绍了基于微磨削加工特点的微磨削未变形切屑厚度的数学计算模型。(2)分析了电镀金刚石微磨具在微磨削加工中的磨损机理以及金刚石磨粒的磨损机制。对微磨削区磨粒、电镀层、工件材料及切屑之间的交互作用形式进行了探讨分析并建立了三维几何模型。考虑微磨削加工的特点,初步建立微磨具磨损的预测模型。(3)在实验研究中,本课题先后进行了两次探索实验研究,通过对实验结果的分析研究最终确定了本课题实验的实验参数及加工材料的尺寸。在微磨具的磨损实验中本课题主要考察主轴转速和进给速度对电镀金刚石微磨具磨损的影响,此外本课题还研究了电镀金刚石微磨具的磨损对加工表面质量和磨粒磨损机制的影响。(4)通过根据实验数据所计算得出的数据与本论文所建立的微磨具的磨损预测模型求解的数据进行对比分析,验证了本论文提出的微磨具的磨损预测模型的科学性,为微磨削加工中微磨具的磨损机理研究提供了理论和试验依据。(5)最后,总结了论文的主要结论和课题研究中出现的不足之处,提出了未来的研究方向。