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在强光工作条件下,表面疵病对光学元件的影响主要表现为散射,将引起光能消耗、薄膜层损伤等危害,严重影响系统性能。因此在强光光学元件的加工和应用中,表面疵病的检测越来越受到重视。目前国内外现有仪器主要是针对小口径平面光学元件进行离线检测,难以满足使用需求。根据强光光学元件表面质量的要求,本文以精密机床为运动平台,基于显微暗场散射成像方法,建立了光学加工表面疵病检测装置以及对应的图像处理、识别与评价方法,以实现大口径非平面光学元件微米级疵病的在位检测。主要研究工作包括:1)以精密机床为运动平台,通过对均匀