激光诱导荧光法对低气压NO射频等离子体诊断与研究

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本论文以Nd:YAG固体激光器泵浦LPX200染料激光器(Dye Laser),用激光诱导荧光的方法(LIF)探测低气压NO等离子体中NO分子在基态到共振激发态(A2∑+-X2Π)的荧光激发光谱;运用较大体积的、较高真空的分子束自由基成像系统IRIS,利用探测器件ICCD相机进行拍照得到荧光图片和光谱分辨的图像。在激光输出波长为226.2nm时对受NO射频放电等离子体的功率和气压变化影响的荧光强度进行定量测量。此外,对于IRIS设备中腔体内的不同填充物对NO(A2∑+-X2Π)荧光强度的影响作了定量的表征。结果表明,在紫外波段205-240nm和226.05-226.12nm所激发的NO(A2∑+-X2Π)荧光光谱与理论结果吻合。此外,在石英砂、钴(Co)分子塞分别填充的时候测量NO基态粒子的荧光强度,结果是不同的:石英砂几乎不存在吸收紫外荧光,而分子塞钴(Co)由于结构上有孔洞,存在一定物理吸附,使得部分NO分子被吸附从而降低了荧光强度。
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