基于入射角灵敏探测机制全石英光纤加速度传感器研制

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自1997年始,随着光纤通信技术的发展,光纤传感技术凭借其优良的特性而成为人们研究的热点,被广泛地开发并应用到人们的日常生活当中。光纤加速度传感器作为其中的一种,主要用于检测振动加速度,现已经被广泛应用于现代工业生产的一些领域如桥梁建筑的健康监测系统、地震波监测系统等。强度调制型光纤加速度传感器以其工作原理简单、结构灵活多变、性能稳定安全、成本低等特点而最具实用化。然而,测量精度低、温度性能差也限制了其发展。为了提高其测量精度与温度特性,本文研制一种基于入射角灵敏探测机制的强度调制型高灵敏度全石英结构光纤加速度传感器。其中主要研究工作如下:对本文设计的传感器的结构、原理以及理论模型进行介绍与分析;对传感器采用的用于提高加速度测量精度的三种机制如准直器传光机制、悬臂梁转换机制以及准直器入射角探测机制进行分析与理论计算;对传感器采用的用于提高温度性能的两种结构如准直器结构与全石英结构进行理论分析。对本文设计的传感器中使用的准直器的入射角灵敏探测机制进行实际测试,绘制出进入准直器的反射光功率损耗与入射角度之间的特性曲线,并与理论计算结果相比较;根据其特性曲线的特点采用静态工作点可调谐原理进一步提高传感器的测量精度。基于以上理论分析,对传感器进行制备,并分别进行加速度特性测试与温度特性测试。测试结果为:在四个静态工作点(0.04。、0.34。、0.43。、0.51。)下,传感器的加速度探测灵敏度分别为17.9dB/g、79.8dB/g、83.4dB/g、107dB/g,对应的探测极限分别为1mg.0.25mg、0.1mg、0.08mg。随着静态工作点的增加,传感器的灵敏度与探测极限随之增加,与理论相符合。静态工作点为0.43。时,传感器的加速度探测灵敏度为83.4dB/g,探测极限可达0.1mg,说明传感器具有良好的加速度检测特性;此时传感器的温度系数为0.008dB/℃,说明传感器具有良好的温度特性。
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