【摘 要】
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随着社会经济的快速发展,带动了各种高压功率器件的发展,同时,也对开关电源的需求日益增大。新一代大功率半导体器件——绝缘体上硅的横向双扩散金属-氧化物场效应晶体管(SOI-LDMOS),是高压智能功率集成电路的核心部件。本研究从高压功率集成电路(HVIC)出发,引入了功率器件和集成电路。分别从器件的结构和开关电源应用两个方向进行研究分析,实现功率器件和集成电路的有机结合。(1)器件结构方面。介绍了S
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随着社会经济的快速发展,带动了各种高压功率器件的发展,同时,也对开关电源的需求日益增大。新一代大功率半导体器件——绝缘体上硅的横向双扩散金属-氧化物场效应晶体管(SOI-LDMOS),是高压智能功率集成电路的核心部件。本研究从高压功率集成电路(HVIC)出发,引入了功率器件和集成电路。分别从器件的结构和开关电源应用两个方向进行研究分析,实现功率器件和集成电路的有机结合。(1)器件结构方面。介绍了SOI-LDMOS器件的结构特点,基于ENDIF(ENhanced DIelectric layer Fi
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