使用磁控溅射方法制备了一系列金属介质多层膜.对于不同的金属和介质膜材料的结构和光学性质进行了分析,在此基础上,主要研究了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜的光学和电学性质.对于TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜结构光学性质的研究具有实际应用价值,主要在光学显示领域获得大量应用,因此研究工作主要集中在可见光波段,对多层膜的透射谱特性进行测量和分析.采用不同金属和介质材料制备了"介质/金属/介质"多层膜结构,比较它们的透射谱,发现使用Ag和TiO<,2>组成的多层膜结构能在可见光区获得最高的透射率.实验中,测量了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜结构的透射谱,与单层TiO<,2>/衬底、Ag/TiO<,2>/衬底、以及单层Ag/衬底结构的透射谱进行了比较,对金属介质周期结构对多层膜整体透射性能的影响进行了研究.当改变Ag层厚度时,测量发现多层膜样品的透射率和透射峰的位置都随Ag层厚度而有显著变化,而多层膜中两层TiO<,2>的厚度在几个纳米范围内的变化对样品整体透射谱的影响较小.试验中,选择合适的Ag和TiO<,2>层厚度,可以使得TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜在500-700nm的可见光范围内透射率超过90﹪.研究中尝试获得了与TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜品质常数有关的各膜层最佳厚度.如上所述,改变多层膜中Ag层和TiO<,2>的厚度,会同时改变样品的透射率和面电阻.以Ag层为例,增加Ag层厚度,使得多层膜的面电阻降低,但同时透射率也随之降低.所以可将多层膜的品质常数定义为样品透射率与面电阻之比,品质常数反映了多层膜结构在光学透射率和导电性两方面的综合性能.对于不同Ag层厚度的样品,分别计算了它们的品质常数,品质常数最高的样品与最佳Ag层厚度相对应.通过实验数据分析,获得TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多层膜中Ag层的最佳厚度约为8nm左右.