本文工作是对TS2100型金球键合机实验平台和U3000型粗铝线键合机实验平台进行了功放驱动与换能系统动态特性的实验研究：对TS2loo型金球键合机的超声功率源的功放模块进行频响实验研究；对TS2100型金球键合机上的PZT压电换能系统在不同加载电压下的频响实验研究；对TS2100型金球键合机上的PZT压电换能系统在不同环境温度下的频响实验研究；对U3000型粗铝线键合实验平台上的PZT压电换能系统在不同连接松紧度下的频响实验研究。主要研究内容如下： 1．开发了基于LabVlEW软件平台的数据采集系统，开发了基于激光多普勒测振仪的PZT、压电换能系统导纳测试系统，和对扫频测量进程监视软件界面；利用求有效值方法求取电学导纳和速度电压导纳幅值；研究了数据处理方法，利用Hilbert变换求出系统加载电压电流之间的相位差，和系统加载电压与响应速度之间的相位差，从而得到系统的电学特性曲线和机电特性曲线。 2．利用激光多普勒测振仪测量软件的数据采集功能和直接数字合成器功能，对TS2100型金球键合机的功放电路的输入输出电压进行了单点扫频测量。实验过程中，对于每个频率点测量了多个不同电压输入下的输入和输出，进而分析得出该系统基本上是线性系统的结论。在此基础上，得到该功放电路的幅相频特性，并作出系统的Bode图。并利用Bode图幅频特性上各环节的渐近线特性与相频特性上各环节的相位特点，求出了参数模型的频率特性，进而求得传递函数。 3．根据压电换能系统等效电路模型，以及求取模型参数的导纳圆法，用建立起来的导纳测试系统，测量了不同加载电压下换能系统的电学特性曲线，利用导纳圆法求得系统的各项参数，分析了系统电学导纳特性，得出了加载电压影响换能系统电学导纳特性的规律；测量了不同环境温度下换能系统的电学导纳曲线，得出环境温度影响换能系统电学导纳特性的规律，指出换能系统等效电路参数比较稳定的环境温度范围；测量了键合工具与换能杆在不同连接松紧度下的电学导纳特性和机械导纳特性，拟合得到系统的等效电路模型参数，得出连接松紧度影响换能系统阻抗特性的规律，指出劈刀应与换能杆紧密连接，以减弱其对超声在系统中的传播引起的畸变作用。 所有这些工作，可用于引线键合和倒装键合机的换能系统设计、调试和优化。有关认识和结论，将为新一代微互连工艺、技术和原型机的设计，奠定重要的技术基础。