近年来,聚合物微／纳流控系统及其相关的制作应用研究成为引人注目的前沿领域,因为流体通道尺寸与溶解在流体中的分子或者离子相近,对此系统的研究不仅可以在纳米流体传输理论上形成突破,其研究成果在DNA操纵及蛋白质分离、药物释放技术、生命科学、离子传输、电泳及电渗系统等诸多领域都有着重要的应用。如何高精度、低成本实现具有纳米尺度的沟槽结构及其顶部密封形成纳米通道,是纳米流体系统制作和应用需要面对的首要关键问题。SU-8光刻胶具有良好的化学稳定性,机械强度、光学透明性及微加工性能,是制作微流体系统理想材料。然而,由于常规光刻技术制作SU-8纳米结构的局限,利用SU-8胶制作纳米尺寸通道的研究并不多见。本论文针对SU-8微纳米通道制作方法进行研究,主要包括以下内容：(1)压印模板及沟槽制作研究：包括利用全息结合湿法在SOI硅片上制作光滑纳米压印模板,全息法可以大面积制作纳米尺寸光栅而湿法可以限制线条粗糙度(LER),形成接近原子光滑度侧壁的模板,并利用SU-8复制模板高深宽比结构。同时也制作了PDMS软压印模板,软模板的使用方便了自支撑SU-8流体系统的制作。(2)热键合技术研究：提出利用双层胶作为键合层进行热键合,大大提高了工艺的宽容度,实现了SU-8纳米通道的制作,并通过对粘附层厚度的调整实现对通道高度控制。(3)其他可控通道密封方法研究：利用薄膜角度沉积方法密封通道,通过对沉积角度调整达到对通道宽度的控制；同时提出了正负胶复合显影方法制作纳米通道,通过光刻胶灰化及正负胶显影工艺制作微米至纳米尺寸的通道,并能实现通道的尺寸控制。(4)实现样品池-纳米沟槽微纳复合结构的加工：制作了组合光刻-压印模板,并利用模板不同部分具有的不同功能,实现样品池和纳米通道的一次成型,制作了微纳米流体系统。同时利用PDMS软模板及PDMS牺牲层,设计并制作了自支撑SU-8流体系统。最后利用稀释的红墨水对纳米通道进行流体流动速度填充测试,结果表明通道材料接触角越小,水力半径越大,流速越快。