近年来,随着工业的快速发展,所需能源不断增多,导致挥发性有机物（Volatile Organic Compounds,VOCs）的排放量不断增多,这与化工行业的快速发展有关。紫外光解技术在处理低浓度、难溶、难分解的VOCs时具有独特优势。但是存在去除率低和尾气臭氧浓度过大等问题。本文以化工行业排放的污染物苯为研究对象,首先对光解反应器进行优化,其次采用臭氧催化氧化工艺对优化后的反应器尾气进一步处理。首先考察了3个因素（进气浓度、停留时间和相对湿度）对未填充型紫外光解反应器处理苯的影响,其次考察了4个因素（进气浓度、停留时间、相对湿度和填料填充量）对填充型紫外光解反应器（蜂窝状活性炭填料）处理苯的影响。结果表明:当进气浓度、停留时间和相对湿度变化范围相同时,相比于未填充型反应器,填充型反应器对苯的去除率有较明显的提高,最大提高21%,且排放的O3相对较少。保持苯进气浓度500mg/m3,对填充型紫外光解反应器处理苯的3种因素进行优化。结果表明:3种因素对去除率的影响顺序为:填料填充量>停留时间>相对湿度,当进气浓度500mg/m3,填料填充量12组,停留时间29s,相对湿度75%时,去除率为77.02%,去除效果最佳。经测定,在上述最优反应条件下,光解尾气中有苯、乙醇、乙酸、乳酸、2,3丁二醇和棕榈酸等几种物质存在,主要成分为苯。对紫外光解工艺和紫外光解-臭氧催化氧化组合工艺（催化剂MnOx/γ-Al2O3,Mn负载量3%）去除苯的效果进行了比较。结果表明:在进气浓度500mg/m3,填料填充量12组,进气流量5.6L/min,相对湿度75%时,相比于紫外光解工艺,组合工艺对苯的去除率提高了7.5%,尾气O3浓度降低了82mg/m3。针对组合工艺排放不能达标的问题,采用两种方法对组合工艺进行优化。第一,增加组合工艺中催化剂（MnOx/γ-Al2O3,Mn负载量3%）的填充量;第二,采用臭氧催化氧化工艺,分别从载体类型和Mn负载量两方面对催化剂（MnOx/γ-Al2O3,Mn负载量3%）的性能进行改进,并将改进后的催化剂用于组合工艺中,进行苯的降解。结果表明:增加催化剂的填充量时,效果改善不明显,因此不采用此方法进行组合工艺的优化。在活性炭、氧化铝和分子筛三种载体中,以活性炭为载体,Mn负载量5%时,去除率和O3利用率最佳,分别为78%和71%。组合工艺（催化剂MnOx/AC,Mn负载量5%）对苯的去除率基本在96.5%,比催化剂优化前高12%。在排出的VOCs中,苯的浓度为15mg/m3,且尾气O3浓度为零。