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基于线扫描光谱共焦测量系统的数据处理与校准算法研究
【摘 要】
:
光谱共焦技术是一种非接触式测量手段,具有超高精度和稳定性,被广泛应用于精密检测领域。基于点式的光谱共焦测量系统,单次测量仅得到单个测量点的深度信息。为获取被测物表面的三维形貌特征,需要进行二维扫描,这不仅对机械件移动的稳定性提出高要求,还降低了扫描效率。本课题提出一种线扫描光谱共焦测量系统,单次测量可同时得到线上几千个测量点的深度信息,通过一维扫描即可获得被测物表面的三维形貌。这不仅大幅度减少机械
【出 处】
:
浙江大学
【发表日期】
:
2021年09期
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